干式真空泵的研究現(xiàn)狀與未來發(fā)展

在上世紀(jì)80年代，世界上臺干式真空泵由英國愛德華公司研制成功，從此也使得真空獲得設(shè)備的研發(fā)和相關(guān)行業(yè)的生產(chǎn)工藝產(chǎn)生了革新進(jìn)步。愛德華公司初研制出的是三級爪型轉(zhuǎn)子與一級羅茨轉(zhuǎn)子組合的干式泵，它的抽氣范圍在從大氣至1Pa之間，并且能夠以相對較低的運行成本與維護(hù)費用來獲得非常清潔、高質(zhì)的真空環(huán)境。隨后相繼又出現(xiàn)了許多不同類型的干式真空泵，針對不同行業(yè)對于生產(chǎn)環(huán)境的需求，干式真空泵的種類和類型也已經(jīng)變得十分細(xì)化，并且泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計技術(shù)也已經(jīng)達(dá)到相當(dāng)完備的程度。

隨著數(shù)十年的工業(yè)科技進(jìn)步與技術(shù)革新，干式真空泵的研發(fā)、生產(chǎn)以及應(yīng)用都已經(jīng)取得了長足的進(jìn)步。在各種行業(yè)、部門干式真空泵都已經(jīng)得到了廣泛應(yīng)用，所以按照其所使用的行業(yè)不同可以將干式真空泵分為兩種類型，即半導(dǎo)體型和石化型。半導(dǎo)體型干式真空泵是應(yīng)用于半導(dǎo)體、數(shù)碼電子等成產(chǎn)工業(yè)中，其普遍要求獲得“清潔”“無油”的真空環(huán)境。相比較而言，石化型干式真空泵主要應(yīng)用于制藥、冶金、石化工業(yè)生產(chǎn)中。這種類型的干式真空泵的技術(shù)著是為了得到干燥的抽真空環(huán)境，該泵主要用于抽除攜帶有大量腐蝕性介質(zhì)、可凝蒸汽、灰塵的氣體。

在半導(dǎo)體等相關(guān)行業(yè)中，對于半導(dǎo)體型干式真空泵的技術(shù)要求普遍很高。相比之下，雖然半導(dǎo)體型干式真空泵同樣能夠完成石化行業(yè)的特定要求，但是在實際工作中卻存在設(shè)備造價偏高，并且抽速小無法達(dá)到要求抽氣量的問題。所以，又針對化工行業(yè)的行業(yè)特點，研制出了滿足其生產(chǎn)要求的石化型干式真空泵。

我國對于真空設(shè)備行業(yè)情況與國外相比仍有一些不足，比如研發(fā)能力差、技術(shù)改造滯后、產(chǎn)品雷同等問題普遍存在。近些年來，我國對于干式真空泵的研發(fā)也有了很大的提升，無論是在泵的性能、效率還是壽命等方面都已經(jīng)普遍提高。綜合考慮各大廠家對于干泵的研發(fā)趨勢和大多數(shù)行業(yè)對于干泵的技術(shù)需求特點，能夠總結(jié)出干式真空泵未來發(fā)展的主要趨勢為:(a)發(fā)展方向由單級干式真空泵轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗉壗M合化、小型化方向、機組化;(b)工作過程由簡單的吸氣、排氣發(fā)展為整體過程處理、回收、化排放等更環(huán)保更節(jié)能的處理過程;(c)朝著更加智能、高度機電、更加可靠的方向發(fā)展;(d)在泵的結(jié)構(gòu)型式的發(fā)展方向而言，其中小型泵領(lǐng)域渦旋泵的研究受到普遍青睞，而在大型泵領(lǐng)域絕大多數(shù)廠商則更加傾向于螺桿泵的研發(fā)生產(chǎn)。